金属膜パターン加工の開拓社

エッチング(基礎技術)

エッチング装置の写真

個別工程の対応も可能

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保有エッチング装置

  • ITO
  • Cr
  • Ti
  • Al
  • Cu
  • Au
  • Mo
  • a-ITO
  • Ag

エッチング方法

方法 面内の均一性 テーパーコントロール性 多様な膜へ対応
DIP
スプレー