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製品・技術

薄膜パターニング

技術

ガラスやフィルムの基板上に透明導電膜や金属膜・樹脂膜などを成膜し、高精度にパターン加工します。

量産品から、試作などの小ロット品まで対応できます。

薄膜パターニングの技術

対応材料

対応機材
  • ソーダガラス
  • 無アクリルガラス
  • 石英ガラス
  • PET
  • PES
  • PC
  • Pi
  • その他

※対応基板サイズ
100×100mm~400×500mm

対応薄膜
透明導電膜 金属膜 樹脂膜
  • ITO
  • IZOなど
  • Cr
  • CrO2
  • SiO2
  • Ti合金
  • Mo合金
  • Ag合金
  • Ni合金
  • AI合金など
  • PI
  • アクリル
  • ノボラック
  • ドライフィルムなど

工程

基板調達

ガラスやフィルムなど、ご希望の基材を調達します。

薄膜成膜

基板上に透明導電膜/金属膜/樹脂膜を、スパッタ/蒸着/塗布/ラミネートで成膜します。

洗浄

成膜した基板を、超音波/ブラシ/高圧水洗/UVで洗浄します。

レジストコート

成膜した基板上に、スリットコーター/スピンコーター/ロールコーター/ラミネーターでレジストコートします。

プリベーク

ホットプレート/オーブンでプリベークします。

露光

一括露光します。

現像

スプレー/ディップで現像します。

エッチング・レジスト剥離

スプレー/ディップで、エッチングとレジスト剥離をします。

出荷検査

出荷前に、ひとつひとつ丁寧に製品の最終検査を行います。

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