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製品・技術

積層薄膜パターニング

技術

ガラスやフィルムの基板上に透明導電膜や金属膜・樹脂膜などを成膜し、高精細にパターン加工します。成膜とパターニングを繰り返すことで、基板上に積層パターンを形成します。

量産品から、試作などの少量品まで対応できます。

積層薄膜パターニングの技術
薄膜積層部
樹脂膜
  • PI
  • アクリル
  • ノボラック
  • ドライフィルムなど
金属膜
  • Cr
  • CrO2
  • SiO2
  • Ti合金
  • Mo合金
  • Ag合金
  • Ni合金
  • AI合金など
透明導電膜
  • ITO
  • IZOなど
対応機材
  • ソーダガラス
  • 無アクリルガラス
  • 石英ガラス
  • PET
  • PES
  • PC
  • Pi
  • その他

※対応基板サイズ
MAX.400×500mm

製品例

FPD関連製品をはじめ、さまざまな高機能製品に使用されています。

有機ELディスプレイ

有機ELディスプレイ

液晶ディスプレイ

液晶ディスプレイ

電子ペーパー

電子ペーパー

有機EL照明

有機EL照明

医療・医薬品デバイス

医療・医薬品デバイス

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