フレキシブル基板

フィルム基板の写真

フレキシブル基板(フィルム、薄ガラス)上に薄膜の金属膜、樹脂膜(レジスト)のパターンを形成致します。
通常のガラス基板同様に、単層は勿論、積層(例:ITO/MAM/樹脂)も設計通りにパターニングさせていただきます。

実績フレキシブル基材

下記は、一般的な取り扱い例となります。特殊な開発フレキシブル基材上へのパターニングも可能です。

  • PEN
  • PET
  • PI
  • PC
  • PES
  • COP
  • 薄ガラス

対応サイズ、実績加工膜

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100x100 (□4インチ) ~0.1mm □7inch 2~3μm
150x150 (□6インチ)
200x200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch

上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせホームまでご連絡ください。
例:φ300㎜(φ12inch) , □300㎜(□12inch), 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
300x400 ~0.1mm 470x570 3~6μm
300x420
370x470
400x500

金属膜(フォトリソ+エッチング)

  • アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
  • 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
  • クロム(Cr,CrO)
  • チタン(Ti)
  • モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
  • (Au)
  • (Ag,APC)
  • (Cu,CuO)
  • ニッケル(Ni)
  • タングステン(W)
  • チタン酸バリウム(BaTiO)

樹脂膜(フォトリソ)

  • ノボラック樹脂(Novolac)
  • アクリル樹脂(Acrylic)
  • ポリイミド樹脂(Polyimide)
  • ドライフィルム(DFR)
  • カラーフィルター(CF)
  • 撥水性バンク(Bank)
  • シロキサン(Si-O-Si)

ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。

弊社加工方法 = シートtoシート

弊社でフレキシブル基板を加工する際、シートtoシートでの加工となります。
シートtoシート方式であれば、従来のインフラ(枚葉式の装置)であっても、ガラス基板同様に流動することが可能です。
少量の試作開発から、量産まで対応することが可能です。

フレキシブル基板と粘着剤とガラス図

剥離し易い粘着材をセレクトしていているため、支持ガラスからフレキシブル基材のみ剥離することも容易です。

製品例:PEN/CrO

製品例:PEN/CrO

製品例:PET/Ti

製品例:PET/Ti

製品例:PEN/CFレジスト(カラーフィルターレジスト)

製品例:PEN/CFレジスト

製品例:PET/CUメッシュ

製品例:PET/CUメッシュ

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