薄膜金属・樹脂膜(レジスト)パターン

様々な基材に対して、【 ガラス:無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス)フィルム:PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜(レジスト)のパターンを形成致します。

配線(パターン)は単層は勿論、積層(例:ITO/MAM/PI)も設計通りにパターニングさせていただきます。

5層構造パターンの写真

ガラス上、カラーフィルター(CF)5層構造パターン
blackレジスト/REDレジスト/greenレジスト/Blueレジスト/OC(アクリル系レジスト)

4層構造パターンの写真

フィルム上、4層構造パターン
ITO/Cr/PI/アクリル系レジスト

Cuメッシュパターンの写真

フィルム上、Cuメッシュパターン
Cu配線:3μm

対応サイズ,実績加工膜

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100x100 (□4インチ) 0.2~6 □7inch 2~3μm
150x150 (□6インチ)
200x200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch

上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせホームまでご連絡ください。
例:φ300㎜(φ12inch) , □300㎜(□12inch), 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
300x400 0.3~2.8 470x570 3~6μm
300x420
370x470
400x500

※加工後カットはご希望のサイズで承ります。
弊社は、どのサイズであっても、試作開発製品~量産対応まで対応可能です。

金属膜(フォトリソ+エッチング)

  • アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
  • 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
  • クロム(Cr,CrO)
  • チタン(Ti)
  • モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
  • (Au)
  • (Ag,APC)
  • (Cu,CuO)
  • ニッケル(Ni)
  • タングステン(W)
  • チタン酸バリウム(BaTiO)

樹脂膜(フォトリソ)

  • ノボラック樹脂(Novolac)
  • アクリル樹脂(Acrylic)
  • ポリイミド樹脂(Polyimide)
  • ドライフィルム(DFR)
  • カラーフィルター(CF)
  • 撥水性バンク(Bank)
  • シロキサン(Si-O-Si)

ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。

無機膜(フォトリソ+エッチングorリフトオフ)

  • 二酸化ケイ素,シリコン窒化膜,窒化ケイ素(SiO2,SiON,SiN)

上記は実績を記載しております。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。

 

樹脂パターン

製品例:カラーフィルター(CF)

製品例:隔壁(アクリル樹脂)

金属パターン

製品例:ITOパターン

製品例:Auパターン

ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。

金属膜+無機絶縁膜パターン

製品例:ITO+SiO2パターン

薄膜パターニング基板の製品例

有機ELディスプレイ
有機ELディスプレイ
有機EL照明
有機EL照明
フレキシブルディスプレイ
フレキシブルディスプレイ
医療
医療
タッチパネル
タッチパネル
マイクロLED ディスプレイ
マイクロLED
光学部品 プロジェクター
光学部品
MEMS
MEMS
有機太陽電池
有機太陽電池
透明ディスプレイ
透明ディスプレイ
評価用チップ
評価用チップ
歪みゲージ
歪みゲージ

納入までの流れ

  • 厚木ミクロに依頼したい内容をお問い合わせください。
    (例)
    • フィルム上に抵抗値が低い金属膜パターンを形成してほしい。
    • ガラス上に透明な金属膜パターンを形成してほしい。
    • 実験用/評価用基板を作製してほしい。
    • 自社で試作を行っていたが、数が多くなるので、量産してほしい。
  • 厚木ミクロに図面を提出。
    図面データ(DXFなど)、またはイラスト(パワーポイント、PDFデータなど)からでも対応可能です。
  • 材料(成膜基板、ガラス基板、フィルムなど)お持ちの場合、御支給ください。
    お持ちでない方は、厚木ミクロでご用意致しますので、ご安心ください
  • 厚木ミクロで製品作製=パターニング
  • 製品お届け

試作や量産などのお問い合わせ

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