受託・材料評価支援

お客様で開発されている、樹脂膜(レジスト)のベタ塗布~パターニングテスト、
同様に開発中の金属膜に対して薬液耐久テスト~パターニングテストを行うことが可能です。
またそれら開発品は、テストのみならず、量産まで対応することが可能ですので、試作~量産までお気軽にお問合せください。

感光性樹脂パターン外観画像
感光性樹脂パターン外観画像
感光性樹脂パターン顕微鏡画像
感光性樹脂パターン顕微鏡画像
感光性樹脂パターンSEM画像
感光性樹脂パターンSEM画像

塗布加工装置

感光性樹脂パターン外観画像
スリットコーター又は、スピンナーを使用して塗布いたします。
塗布材料少量で対応可能です。

現像・エッチング加工装置

感光性樹脂パターン顕微鏡画像
シャワー又は、DIPで現像・エッチングします。

※使用する装置は、材料の組成等により決定させていただきます。

お客様と厚木ミクロの材料評価支援サイクルの図
評価の流れ

よくいただく質問

評価だけでなく、量産もできるか?
弊社は、開発から一貫して行うことができるので、量産体制に移行することも可能です。
材料少量でも対応は可能か?
基板1枚から対応可能です。
試したい水準がいくつもあるが、それ通りできるか?
複数水準あっても対応可能です。
試作後の観察・評価結果等の調査は可能か?
ご要望いただけましたら、顕微鏡画像・膜厚測定等ご評価させていただきます。

試作や量産などのお問い合わせ

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