アルカリ洗浄【1回の場合でのデータ】
アルカリ洗浄投入前異物数 1,977個
アルカリ洗浄投入後異物数 38個
アルカリ洗浄投入前異物数 1,977個
アルカリ洗浄投入後異物数 38個
※図の内容はガラス傷など除去しきれないモードも検出している内容となります。
洗浄方法一覧
- DRY洗浄
- UV洗浄
- プラズマ洗浄
- WET洗浄
- アルカリ洗浄
- 超音波洗浄
- 高圧洗浄
※上記の選択を組み合わせて基板に対して最適な洗浄を選択し、異物、 汚れ等の100%除去を目指します
実績のある材料
- 金属パターニング用レジスト ※下記参照
- 層間絶縁膜 (永久膜)
- 平坦化膜
- カラーレジスト
- ブラックレジスト
- 散乱膜
その他、開発品等の特殊素材にも対応いたします。
塗布方法一覧
| 方法 | 液使用量 | 面内精度 | 非有効範囲 |
|---|---|---|---|
| スリット | 少 | ◎ | 外周5mm |
| スピン | 多 | ○ | 外周10mm |
| ロール | 少 | △ | 外周5mm |
| スプレー | 少 | ○ | 外周5mm |
※依頼内容に合わせて塗布方法を選定します。
レジストパターン精度
L&S：最小2~3/2~3μm
アライメント精度
ズレがある場
ズレがない場合
※2レイヤーある場合もアライメント精度±1.0μmで加工できます。
上記内容はあくまで最適条件下の実績値となり、仕様により異なります。