CF（カラーフィルター）パターン
CF（カラーフィルター）パターニングする基材は、ガラス類～フィルム類まで対応可能です。
CF（カラーフィルター）形成後の金属膜形成も弊社で対応できますので、一貫した基板作製を弊社に行うことができます。
数量は、試作～量産まで対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
色度調整、相談ください。
薄膜金属・樹脂膜（レジスト）パターン
様々な基材に対して、【 ガラス：無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス）フィルム：PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
配線（パターン）は単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/PI）も設計通りにパターニングさせていただきます。
ガラス上、カラーフィルター（CF）5層構造パターン
blackレジスト/REDレジスト/greenレジスト/Blueレジスト/OC(アクリル系レジスト)
フィルム上、4層構造パターン
ITO/Cr/PI/アクリル系レジスト
フィルム上、Cuメッシュパターン
Cu配線：3μm
対応サイズ,実績加工膜
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 100×100 (□4インチ) | 0.2~6 | □7inch | 2～3μm |
| 150×150 (□6インチ) | |||
| 200×200 (□8インチ) | □9inch | ||
| φ150 (φ6インチ) | □7inch | ||
| φ200 (φ8インチ) | □9inch |
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 300×400 | 0.3~2.8 | 470×570 | 3～6μm |
| 300×420 | |||
| 370×470 | |||
| 400×500 |
※加工後カットはご希望のサイズで承ります。
弊社は、どのサイズであっても、試作開発製品～量産対応まで対応可能です。
金属膜
(フォトリソ＋エッチング)
- アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
- 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
- クロム(Cr,CrO)
- チタン(Ti)
- モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
- 金(Au)
- 銀(Ag,APC)
- 銅(Cu,CuO)
- ニッケル(Ni)
- タングステン(W)
- チタン酸バリウム(BaTiO)
樹脂膜
(フォトリソ)
- ノボラック樹脂(Novolac)
- アクリル樹脂(Acrylic)
- ポリイミド樹脂(Polyimide)
- ドライフィルム(DFR)
- カラーフィルター(CF)
- 撥水性バンク(Bank)
- シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。
無機膜
(フォトリソ＋エッチングorリフトオフ)
- 二酸化ケイ素,シリコン窒化膜,窒化ケイ素(SiO2,SiON,SiN)
上記は実績を記載しております。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
樹脂パターン
金属パターン
ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。
金属膜+無機絶縁膜パターン
ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。
薄膜パターニング基板の製品例
納入までの流れ
(例)
- フィルム上に抵抗値が低い金属膜パターンを形成してほしい。
- ガラス上に透明な金属膜パターンを形成してほしい。
- 実験用/評価用基板を作製してほしい。
- 自社で試作を行っていたが、数が多くなるので、量産してほしい。
図面データ(DXFなど)、またはイラスト（パワーポイント、PDFデータなど）からでも対応可能です。