CF(カラーフィルター)パターン
CF(カラーフィルター)パターニングする基材は、ガラス類~フィルム類まで対応可能です。
CF(カラーフィルター)形成後の金属膜形成も弊社で対応できますので、一貫した基板作製を弊社に行うことができます。
数量は、試作~量産まで対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
![](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/cf1.jpg)
![](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/cf2.jpg)
色度調整、相談ください。
薄膜金属・樹脂膜(レジスト)パターン
様々な基材に対して、【 ガラス:無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス)フィルム:PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜(レジスト)のパターンを形成致します。
配線(パターン)は単層は勿論、積層(例:ITO/MAM/PI)も設計通りにパターニングさせていただきます。
![ガラス上、カラーフィルター(CF)5層構造パターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/rg1.jpg)
ガラス上、カラーフィルター(CF)5層構造パターン
blackレジスト/REDレジスト/greenレジスト/Blueレジスト/OC(アクリル系レジスト)
![フィルム上、4層構造パターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/rg2.jpg)
フィルム上、4層構造パターン
ITO/Cr/PI/アクリル系レジスト
![フィルム上、Cuメッシュパターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/rg3.jpg)
フィルム上、Cuメッシュパターン
Cu配線:3μm
対応サイズ,実績加工膜
ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
---|---|---|---|
100×100 (□4インチ) | 0.2~6 | □7inch | 2~3μm |
150×150 (□6インチ) | |||
200×200 (□8インチ) | □9inch | ||
φ150 (φ6インチ) | □7inch | ||
φ200 (φ8インチ) | □9inch |
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例:φ300㎜(φ12inch) , □300㎜(□12inch), 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
![](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/worksize-1024x362.png)
ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
---|---|---|---|
300×400 | 0.3~2.8 | 470×570 | 3~6μm |
300×420 | |||
370×470 | |||
400×500 |
※加工後カットはご希望のサイズで承ります。
弊社は、どのサイズであっても、試作開発製品~量産対応まで対応可能です。
金属膜
(フォトリソ+エッチング)
- アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
- 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
- クロム(Cr,CrO)
- チタン(Ti)
- モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
- 金(Au)
- 銀(Ag,APC)
- 銅(Cu,CuO)
- ニッケル(Ni)
- タングステン(W)
- チタン酸バリウム(BaTiO)
樹脂膜
(フォトリソ)
- ノボラック樹脂(Novolac)
- アクリル樹脂(Acrylic)
- ポリイミド樹脂(Polyimide)
- ドライフィルム(DFR)
- カラーフィルター(CF)
- 撥水性バンク(Bank)
- シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。
無機膜
(フォトリソ+エッチングorリフトオフ)
- 二酸化ケイ素,シリコン窒化膜,窒化ケイ素(SiO2,SiON,SiN)
上記は実績を記載しております。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
樹脂パターン
![製品例:カラーフィルター(CF)](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/1.jpg)
![製品例:隔壁(アクリル樹脂)](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/2.jpg)
金属パターン
![製品例:ITOパターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_basicprocess_metalITO.jpg)
![製品例:Auパターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_basicprocess_metalAu.jpg)
ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。
金属膜+無機絶縁膜パターン
![製品例:ITO+SiO2パターン](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/6.jpg)
ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。
薄膜パターニング基板の製品例
![有機ELディスプレイ](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_organic_el_display.jpg)
![有機EL照明](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_organic_el_light.jpg)
![フレキシブルディスプレイ](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_flexible_display.jpg)
![医療](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_medic.jpg)
![タッチパネル](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_touch_panel.jpg)
![マイクロLED](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_micro_led.jpg)
![光学部品](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_optical_component.jpg)
![MEMS](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_mems.jpg)
![有機太陽電池](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_organic_solar_cell.jpg)
![透明ディスプレイ](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_transparent_display.jpg)
![評価用チップ](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_evaluation_chip.jpg)
![歪みゲージ](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/img_strain_gauge.jpg)
納入までの流れ
(例)
- フィルム上に抵抗値が低い金属膜パターンを形成してほしい。
- ガラス上に透明な金属膜パターンを形成してほしい。
- 実験用/評価用基板を作製してほしい。
- 自社で試作を行っていたが、数が多くなるので、量産してほしい。
図面データ(DXFなど)、またはイラスト(パワーポイント、PDFデータなど)からでも対応可能です。