1987年にミクロ技術研究所の厚木開発センターとして設立され、ミクロ技術研究所の新規製品開発を担当しました。2007年に組織の活性化を図るため分社化し、株式会社 厚木ミクロとして新設。前身の厚木開発センター時代から培ってきたフォトリソグラフィーとエッチング技術をベースに、さまざまな製品を開発し、現在に至ります。
今後も創意を持って技術力・開発力のさらなる向上を目指し、エレクトロニクス産業の一翼を担う製品を作り続けます。