お客様で開発されている、樹脂膜(レジスト)のベタ塗布~パターニングテスト、
同様に開発中の金属膜に対して薬液耐久テスト~パターニングテストを行うことが可能です。
またそれら開発品は、テストのみならず、量産まで対応することが可能ですので、試作~量産までお気軽にお問合せください。
![感光性樹脂パターン外観](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig1.jpg)
![感光性樹脂パターン顕微鏡](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig2.jpg)
![感光性樹脂パターンSEM](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig3.jpg)
塗布加工装置
![塗布加工装置](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig4.jpg)
スリットコーター又は、スピンナーを使用して塗布いたします。
塗布材料少量で対応可能です。
現像・エッチング加工装置
![現像・エッチング加工装置](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig5.jpg)
シャワー又は、DIPで現像・エッチングします。
※使用する装置は、材料の組成等により決定させていただきます。
![塗布テスト/薬液耐性テスト/パターンニング他](https://www.at-micro.co.jp/wp-content/uploads/2023/03/support-program-fig4.png)
よくいただく質問
- 評価だけでなく、量産もできるか?
- 弊社は、開発から一貫して行うことができるので、量産体制に移行することも可能です。
- 材料少量でも対応は可能か?
- 基板1枚から対応可能です。
- 試したい水準がいくつもあるが、それ通りできるか?
- 複数水準あっても対応可能です。
- 試作後の観察・評価結果等の調査は可能か?
- ご要望いただけましたら、顕微鏡画像・膜厚測定等ご評価させていただきます。